《压电与声光》编辑部

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              《 压 电 与 声 光 》 编 辑 部 请 选 择 中 文 标 题 英 文 标 题 作 者 中 文 名 作 者 英 文 名 中 文 摘 要 英 文 摘 要 中 文 关 键 词 英 文 关 键 词 单 位 中 文 名 单 位 英 文 名 中 图 分 类 号 D O I 高 级 搜 索 首 页 期 刊 介 绍 编 委 会 编 辑 部 投 稿 须 知 信 息 公 告 联 系 我 们 论 文 查 重 E n g l i s h 0 作 者 登 录 审 稿 登 录 读 者 登 录 编 辑 登 录 特 邀 专 题 M o r e > > 精 彩 推 荐 M o r e > > 编 辑 部 动 态 M o r e > > 专 栏 征 稿 — — 新 型 惯 性 技 术 及 应 用 专 栏 征 稿 — — 磁 声 耦 合 材 料 及 器 件 《 压 电 与 声 光 》 入 选 《 科 技 期 刊 世 界 影 响 力 指 数 （ W J C I ） 报 告 （ 2 0 2 4 ） 》 严 正 声 明 关 于 暑 假 期 间 的 录 用 通 知 作 者 园 地 M o r e > > 投 稿 指 南 《 压 电 与 声 光 》 著 作 权 转 让 协 议 保 密 回 执 修 改 稿 要 求 E I 文 摘 要 求 关 键 词 选 取 作 图 要 求 投 稿 模 版 中 图 分 类 号 查 询 参 考 文 献 著 录 格 式 友 情 链 接 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 二 十 六 研 究 所 重 庆 科 技 期 刊 学 会 官 网 《 激 光 与 红 外 》 期 刊 微 信 二 维 码 《 压 电 与 声 光 》 官 网 《 压 电 与 声 光 》 公 众 号 访 问 统 计 今 日 访 问 量 ： 总 访 问 量 ： 《 压 电 与 声 光 》 是 由 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 （ 原 电 子 部 ） 第 二 十 六 研 究 所 ( 四 川 压 电 与 声 光 技 术 研 究 所 ) 主 办 、 国 内 外 公 开 发 行 的 学 术 性 与 技 术 性 相 结 合 的 刊 物 。 
 国 内 统 一 刊 号 ： C N 5 0 — 1 0 9 1 / T N ； 国 际 标 准 刊 号 ： I S S N 1 0 0 4 — 2 4 7 4 ； 国 际 刊 名 代 码 （ C O D E N ） ： Y A S H E 7 。 
 双 月 刊 ， 大 1 6 开 ， 1 6 0 页 ， 每 逢 双 月 出 版 。 
 《 压 电 与 声 光 》 是 中 文 核 心 期 刊 ； 中 国 科 技 核 心 期 刊 ； E l s e v i e r S c o p u s 数 据 库 收 录 期 刊 ； 美 国 《 E B S C O 》 数 据 库 ； 美 国 《 化 学 文 摘 》 （ C A ） 收 录 期 刊 ； 日 本 《 科 学 技 术 文 献 速 报 》 （ J I C S T ） 收 录 期 刊 ； 波 兰 《 哥 白 尼 索 引 》 （ I C ） 收 录 期 刊 ； 中 国 科 技 论 文 统 计 源 期 刊 ； 中 国 期 刊 方 阵 “ 双 效 期 刊 ” ； 《 中 国 学 术 期 刊 （ 光 盘 版 ） 》 、 《 中 国 期 刊 网 》 全 文 收 录 期 刊 等 。 
 [ M O R E ] 当 期 目 录 已 录 用 过 刊 浏 览 虚 拟 专 刊 下 载 排 行 引 用 排 行 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 第 4 7 卷 第 2 期 | 2 0 2 5 年 显 示 模 式 ： 目 次 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) , D O I : [ 摘 要 ] ( 1 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 6 . 2 7 M K B ] ( 1 0 ) A b s t r a c t : 基 于 二 氧 化 钒 的 可 重 构 声 表 面 波 谐 振 器 宫 傲 ， 何 伟 ， 郭 乙 龙 ， 白 焱 ， 黄 秋 钦 ， 黄 文 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 0 3 2 0 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 1 [ 摘 要 ] ( 2 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 4 2 M K B ] ( 2 0 ) A b s t r a c t : 仿 真 设 计 了 一 款 新 颖 的 可 重 构 声 表 面 波 （ S A W ） 谐 振 器 。 
 该 设 计 将 相 变 材 料 二 氧 化 钒 （ V O 2 ） 与 谐 振 器 集 成 在 同 一 芯 片 上 ， 实 现 了 紧 凑 的 可 重 构 谐 振 器 。 
 利 用 V O 2 的 相 变 特 性 ， 以 V O 2 替 代 S A W 谐 振 器 的 部 分 电 极 。 
 通 过 温 度 控 制 S A W 谐 振 器 中 V O 2 电 极 的 工 作 状 态 ， 实 现 S A W 谐 振 器 频 率 在 两 种 不 同 状 态 之 间 的 调 谐 。 
 设 计 的 电 极 宽 度 为 1 . 1 5 μ m （ 理 论 波 长 λ 为 4 . 6 μ m ） 的 可 重 构 谐 振 器 ， 仿 真 结 果 显 示 其 频 率 可 在 4 7 2 M H z 和 7 7 4 M H z 两 种 状 态 下 进 行 调 谐 ， 机 电 耦 合 系 数 分 别 为 7 . 1 % 和 5 . 6 % ， 同 时 调 谐 范 围 高 达 3 0 2 M H z 。 
 为 使 设 计 的 可 重 构 谐 振 器 具 有 更 优 的 性 能 ， 对 可 重 构 谐 振 器 的 电 极 厚 度 进 行 参 数 化 仿 真 ， 当 电 极 厚 度 为 0 . 1 2 λ 时 ， S A W 谐 振 器 的 机 电 耦 合 系 数 最 高 ， 为 后 续 可 重 构 S A W 滤 波 器 提 供 了 更 大 的 带 宽 。 
 同 时 还 提 出 了 基 于 V O 2 的 可 重 构 S A W 谐 振 器 的 工 艺 流 程 思 路 ， 这 为 设 计 应 用 于 实 际 提 供 了 指 导 。 
 用 于 N 7 7 频 段 的 高 优 值 S 0 兰 姆 波 声 表 面 波 谐 振 器 仿 真 与 制 备 蔡 乔 ， 帅 垚 ， 彭 斌 ， 吴 传 贵 ， 潘 忻 强 ， 张 万 里 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 0 9 2 1 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 2 [ 摘 要 ] ( 1 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 8 8 M K B ] ( 1 7 ) A b s t r a c t : N 7 7 频 段 对 声 表 面 波 滤 波 器 提 出 了 大 带 宽 、 低 损 耗 等 要 求 ， 但 使 用 低 声 速 声 学 模 态 以 及 单 层 功 能 层 衬 底 结 构 的 谐 振 器 无 法 同 时 实 现 高 频 、 宽 带 的 目 标 ， 因 此 提 出 了 基 于 X 3 7 ° Y 铌 酸 锂 薄 膜 与 S i O 2 / T a 2 O 5 布 喇 格 反 射 层 设 计 ， 并 制 备 了 固 态 装 配 型 的 声 表 面 波 谐 振 器 。 
 首 先 确 定 谐 振 器 的 工 作 模 态 为 高 相 速 度 S 0 兰 姆 波 ， 通 过 仿 真 各 层 薄 膜 厚 度 对 器 件 性 能 的 影 响 ， 确 定 了 谐 振 器 中 各 层 薄 膜 材 料 的 厚 度 ； 然 后 基 于 该 器 件 结 构 参 数 ， 针 对 N 7 7 频 段 制 备 了 一 组 电 极 周 期 为 1 . 4 0 ~ 1 . 8 6 μ m 的 谐 振 器 并 对 其 性 能 进 行 测 试 。 
 结 果 表 明 ， 实 测 结 果 与 仿 真 基 本 一 致 ， 实 测 谐 振 器 具 有 大 机 电 耦 合 系 数 （ k 2 ＞ 2 2 % ） 和 高 品 质 因 子 （ Q m a x ＞ 9 0 0 ） 的 特 性 ， 且 优 值 因 子 超 过 2 0 0 ， 性 能 优 于 采 用 同 种 声 学 模 式 的 其 他 谐 振 器 ， 有 望 应 用 于 N 7 7 等 5 G 频 段 的 滤 波 器 。 
 双 图 案 化 技 术 制 备 声 表 面 波 滤 波 器 的 工 艺 路 线 季 鸿 雨 ， 郭 俊 寒 ， 于 海 洋 ， 张 玉 涛 ， 史 向 龙 ， 孟 腾 飞 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 1 5 2 1 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 3 [ 摘 要 ] ( 1 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 0 2 M K B ] ( 2 7 ) A b s t r a c t : 研 究 了 声 表 面 波 滤 波 器 的 光 刻 工 艺 。 
 通 过 双 图 案 化 技 术 将 一 套 密 度 高 且 复 杂 的 芯 片 图 形 拆 分 成 两 套 分 立 的 、 密 度 低 且 简 单 的 图 形 。 
 通 过 双 重 曝 光 技 术 先 后 将 占 空 比 差 异 较 大 的 两 组 叉 指 电 极 曝 光 在 同 一 层 光 刻 胶 中 ， 降 低 了 光 刻 工 艺 的 复 杂 程 度 ， 提 高 了 芯 片 图 形 的 光 刻 质 量 。 
 芯 片 的 性 能 与 仿 真 结 果 一 致 。 
 空 气 隙 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 工 艺 研 究 舒 平 ， 李 桦 林 ， 梁 柳 洪 ， 谭 发 曾 ， 冷 峻 林 ， 陈 兴 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 2 0 2 2 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 4 [ 摘 要 ] ( 1 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 7 . 5 5 M K B ] ( 1 2 ) A b s t r a c t : 随 着 通 信 技 术 的 发 展 ， 对 射 频 前 端 滤 波 器 的 高 频 化 和 小 型 化 需 求 愈 发 强 烈 。 
 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 （ X B A R ） 是 一 种 适 用 于 高 频 应 用 的 器 件 ， 其 中 空 气 隙 型 X B A R 因 结 构 设 计 而 在 高 频 段 表 现 出 优 异 的 性 能 。 
 通 过 研 究 空 气 隙 型 X B A R 的 制 作 工 艺 与 结 构 特 点 ， 研 制 出 空 气 隙 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 芯 片 样 品 。 
 基 于 探 针 测 试 ， 该 滤 波 器 芯 片 样 品 的 顶 部 插 入 损 耗 为 1 . 2 7 d B ， 通 带 带 宽 为 8 0 8 M H z ， 通 带 相 对 带 宽 为 1 5 . 9 % 。 
 这 对 研 究 高 频 、 大 带 宽 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 具 有 重 要 的 参 考 意 义 。 
 声 表 面 波 滤 波 器 平 行 封 焊 飞 溅 多 余 物 控 制 的 研 究 郭 俊 寒 ， 季 鸿 雨 ， 孟 腾 飞 ， 何 志 新 ， 陈 瑞 ， 史 向 龙 ， 于 海 洋 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 2 5 2 2 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 5 [ 摘 要 ] ( 1 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 0 . 5 6 M K B ] ( 1 2 ) A b s t r a c t : 通 过 分 析 因 飞 溅 多 余 物 而 失 效 的 声 表 面 波 滤 波 器 ， 证 明 了 飞 溅 多 余 物 是 由 平 行 封 焊 工 序 产 生 的 。 
 研 究 了 平 行 封 焊 工 序 中 相 关 焊 接 参 数 对 平 行 封 焊 的 影 响 ， 通 过 调 节 焊 接 功 率 、 时 间 和 速 度 等 参 数 ， 将 焊 缝 宽 度 和 焊 点 重 叠 区 域 面 积 调 整 至 理 想 范 围 内 ， 在 保 证 焊 接 质 量 的 同 时 ， 将 飞 溅 多 余 物 产 生 的 概 率 降 至 万 分 之 二 。 
 另 外 ， 选 取 熔 点 更 高 的 电 镀 镍 盖 板 来 代 替 化 学 镀 镍 盖 板 ， 进 一 步 减 少 了 平 行 封 焊 过 程 中 飞 溅 多 余 物 的 产 生 。 
 石 英 基 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 横 向 模 式 抑 制 研 究 冷 俊 林 ， 肖 强 ， 陆 川 ， 董 加 和 ， 陈 文 远 ， 谢 晓 ， 金 巧 ， 杜 雪 松 ， 汪 红 兵 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 3 0 2 3 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 6 [ 摘 要 ] ( 1 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 5 2 M K B ] ( 1 2 ) A b s t r a c t : 针 对 通 信 和 电 子 对 抗 系 统 中 对 极 窄 带 S A W 滤 波 器 的 需 求 ， 选 用 A T 石 英 作 为 压 电 材 料 设 计 S A W 滤 波 器 ， 为 满 足 相 对 带 宽 小 于 1 ‰ 的 要 求 ， 采 用 纵 向 耦 合 型 双 模 （ D M S ） 滤 波 器 拓 扑 结 构 进 行 了 优 化 设 计 。 
 而 后 ， 研 究 了 对 A T 石 英 基 极 窄 带 S A W 滤 波 器 通 带 和 高 端 过 渡 带 产 生 的 横 向 模 式 杂 波 的 抑 制 ， 采 用 指 条 电 极 末 端 加 厚 的 P i s t o n 结 构 ， 通 过 有 限 元 仿 真 建 模 优 化 实 现 了 横 向 模 式 的 抑 制 。 
 最 后 通 过 实 验 对 比 了 横 向 模 式 优 化 前 后 的 测 试 曲 线 ， 结 果 表 明 ， 采 用 P i s t o n 结 构 抑 制 后 S A W 滤 波 器 的 最 小 插 损 、 相 对 带 宽 和 带 内 波 纹 均 有 明 显 改 善 。 
 压 电 晶 圆 厚 度 对 声 表 面 波 器 件 性 能 的 影 响 及 改 进 方 法 研 究 何 成 勇 ， 褚 梦 群 ， 谭 发 曾 ， 胡 明 浪 ， 谭 瑞 ， 陈 文 远 ， 张 幸 ， 罗 鸿 飞 ， 肖 强 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 3 4 2 3 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 7 [ 摘 要 ] ( 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 3 5 M K B ] ( 1 3 ) A b s t r a c t : 钽 酸 锂 （ L i T a O 3 ， L T ） 为 目 前 声 表 面 波 （ S A W ） 滤 波 器 普 遍 采 用 的 压 电 晶 圆 之 一 。 
 为 控 制 S A W 滤 波 器 的 制 造 成 本 和 体 积 ， 制 造 时 通 常 会 采 用 更 薄 、 价 格 更 低 的 0 . 2 5 m m 厚 的 L T 替 代 原 来 0 . 3 5 m m 厚 的 晶 圆 。 
 然 而 ， 在 滤 波 器 设 计 结 构 相 同 的 情 况 下 ， 相 较 于 0 . 3 5 m m 厚 的 L T ， 采 用 0 . 2 5 m m 厚 L T 的 S A W 滤 波 器 性 能 有 所 降 低 。 
 针 对 该 问 题 ， 首 先 建 立 了 含 封 装 粘 片 胶 的 电 磁 仿 真 模 型 ， 分 别 仿 真 了 两 种 厚 度 （ 0 . 3 5 m m 、 0 . 2 5 m m ） 的 压 电 基 底 在 不 同 粘 片 胶 厚 度 条 件 下 的 电 磁 特 性 ； 然 后 结 合 电 磁 、 声 学 联 合 仿 真 优 化 了 粘 片 胶 的 厚 度 ， 进 而 提 升 了 S A W 滤 波 器 的 仿 真 性 能 。 
 实 验 结 果 表 明 ， 通 过 优 化 粘 片 胶 厚 度 ， 可 使 0 . 2 5 m m 厚 L T 滤 波 器 的 性 能 优 于 0 . 3 5 m m 厚 L T 滤 波 器 ， 满 足 器 件 指 标 要 求 ， 该 方 案 可 推 广 至 其 他 压 电 晶 圆 的 S A W 器 件 。 
 基 于 矢 量 阅 读 器 的 声 表 面 波 传 感 器 频 率 估 计 优 化 卢 铭 瑞 ， 徐 静 宁 ， 蔡 飞 达 ， 张 勇 斌 ， 赵 万 生 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 3 8 2 4 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 8 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 3 M K B ] ( 7 ) A b s t r a c t : 在 进 行 无 线 无 源 声 表 面 波 （ S A W ） 传 感 器 测 量 时 ， 谐 振 频 率 估 计 的 稳 定 性 不 佳 会 限 制 声 表 面 波 阅 读 器 测 量 系 统 的 性 能 。 
 为 提 高 频 率 估 计 的 稳 定 性 ， 基 于 传 统 功 率 谱 频 率 估 计 方 法 引 入 了 相 位 检 波 技 术 ， 设 计 了 一 种 矢 量 阅 读 器 架 构 以 获 取 矢 量 频 谱 ， 并 提 出 了 一 种 结 合 相 位 测 量 和 滤 波 处 理 的 优 化 方 法 。 
 该 方 法 采 用 逆 快 速 傅 里 叶 变 换 （ I F F T ） 和 有 限 冲 激 响 应 （ F I R ） 滤 波 方 法 提 升 回 波 信 号 的 信 噪 比 ， 并 结 合 多 种 模 型 拟 合 方 法 ， 针 对 不 同 峰 型 特 征 的 谐 振 频 率 进 行 优 化 估 计 。 
 为 验 证 该 方 法 的 有 效 性 ， 构 建 了 S A W 传 感 器 无 线 无 源 测 试 平 台 ， 并 开 展 了 无 线 频 率 测 试 实 验 。 
 采 集 多 组 S A W 回 波 信 号 数 据 进 行 处 理 。 
 实 验 结 果 表 明 ， 经 过 滤 波 处 理 后 ， 回 波 信 号 的 信 噪 比 提 升 了 约 1 7 d B ， 而 结 合 拟 合 方 法 优 化 后 ， 谐 振 频 率 估 计 的 标 准 差 低 于 0 . 5 k H z 。 
 该 方 法 能 有 效 提 高 声 表 面 波 阅 读 器 系 统 的 频 率 估 计 灵 敏 度 和 稳 定 性 。 
 基 于 氧 化 石 墨 烯 的 高 灵 敏 D M M P 声 表 面 波 传 感 器 杨 世 林 ， 金 晶 ， 蔡 建 兵 ， 张 嵩 ， 胡 文 韬 ， 邓 雅 洁 ， 阮 林 平 ， 张 颖 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 4 6 2 5 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 0 9 [ 摘 要 ] ( 1 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 9 . 8 0 M K B ] ( 9 ) A b s t r a c t : 以 沙 林 的 模 拟 物 甲 基 磷 酸 二 甲 酯 （ D M M P ） 为 检 测 对 象 ， 开 发 了 一 种 基 于 氧 化 石 墨 烯 （ G O ） 的 声 表 面 波 （ S A W ） D M M P 气 体 传 感 器 。 
 该 传 感 器 利 用 半 导 体 平 面 工 艺 在 石 英 基 底 上 沉 积 金 属 铝 换 能 器 ， 形 成 延 迟 线 结 构 ， 并 通 过 滴 涂 法 在 声 传 播 路 径 上 沉 积 G O 气 敏 薄 膜 。 
 在 室 温 条 件 下 ， 该 S A W 传 感 器 在 1 p p m 至 4 0 p p m 的 D M M P 浓 度 范 围 内 展 现 出 高 灵 敏 度 （ 0 . 6 m V / p p m ） 和 快 速 响 应 （ T 9 0 = 4 5 s ） 。 
 此 外 ， 该 传 感 器 具 有 较 好 的 稳 定 性 ， 放 置 两 周 后 其 传 感 性 能 衰 退 较 小 。 
 用 于 土 壤 温 湿 度 检 测 的 声 表 面 波 标 签 天 线 设 计 薛 昕 烁 ， 陈 智 军 ， 张 烁 ， 周 鹏 ， 王 帅 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 5 1 2 6 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 0 [ 摘 要 ] ( 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 3 . 6 3 M K B ] ( 1 0 ) A b s t r a c t : 天 线 设 计 是 实 现 基 于 无 线 无 源 声 表 面 波 标 签 的 土 壤 温 湿 度 检 测 的 重 要 环 节 。 
 为 实 现 对 同 一 表 面 位 置 不 同 深 度 处 土 壤 温 湿 度 的 并 行 检 测 ， 多 个 标 签 需 采 用 时 分 与 频 分 多 址 的 方 案 。 
 对 此 设 计 了 层 叠 式 双 频 圆 极 化 微 带 天 线 及 一 分 四 T 型 微 带 功 分 器 ， 天 线 的 不 同 贴 片 对 应 不 同 谐 振 频 率 ， 通 过 切 角 实 现 圆 极 化 ； 功 分 器 采 用 微 带 线 设 计 减 小 了 高 频 段 电 阻 效 应 及 耗 散 功 率 问 题 。 
 使 用 H F S S 软 件 进 行 仿 真 优 化 ， 制 作 实 物 并 结 合 矢 量 网 络 分 析 仪 进 行 测 试 。 
 测 试 结 果 表 明 ， 该 天 线 在 中 心 频 率 8 4 2 . 5 M H z 与 9 2 2 . 5 M H z 处 的 S 1 1 均 小 于 ? 1 0 d B ， 功 分 器 4 个 输 出 端 口 的 传 输 系 数 均 约 为 ? 6 . 8 d B ， 与 仿 真 结 果 基 本 一 致 ， 验 证 了 该 天 线 及 功 分 器 的 实 用 性 。 
 具 有 布 喇 格 反 射 层 谐 振 器 带 内 横 模 抑 制 结 构 设 计 李 磊 ， 帅 垚 ， 李 金 晔 ， 范 维 ， 吴 达 豪 ， 罗 文 博 ， 吴 传 贵 ， 张 万 里 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 6 2 2 6 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 1 [ 摘 要 ] ( 1 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 3 8 M K B ] ( 1 0 ) A b s t r a c t : 研 究 了 基 于 X 切 铌 酸 锂 材 料 且 具 有 布 喇 格 反 射 层 结 构 的 谐 振 器 ， 通 过 有 限 元 （ F E M ） 仿 真 模 拟 计 算 了 面 内 旋 转 角 和 A l 电 极 厚 度 对 机 电 耦 合 系 数 、 相 速 度 和 阻 抗 比 的 影 响 。 
 搭 建 三 维 有 限 元 （ 3 D F E M ） 结 构 探 究 了 谐 振 器 带 内 的 横 向 模 式 与 半 周 期 的 关 系 ， 并 对 比 了 两 种 小 锤 结 构 对 横 向 模 式 的 抑 制 作 用 ， 小 锤 结 构 无 法 对 S M R 谐 振 器 的 横 向 模 式 进 行 有 效 抑 制 。 
 设 计 了 3 种 加 权 谐 振 器 结 构 ， 分 别 是 加 权 无 假 指 、 加 权 有 假 指 和 加 权 有 小 锤 。 
 实 验 对 比 了 普 通 谐 振 器 与 3 种 加 权 谐 振 器 的 性 能 。 
 结 果 表 明 ， 3 种 加 权 谐 振 器 的 机 电 耦 合 系 数 （ K 2 ） 都 超 过 了 1 5 % ， 阻 抗 比 约 为 6 0 d B ， 均 对 带 内 横 向 模 式 有 明 显 的 抑 制 作 用 。 
 P 波 段 窄 带 高 抑 制 选 频 组 件 性 能 优 化 的 研 究 龚 旭 ， 杨 桃 均 ， 李 亚 飞 ， 蒲 志 勇 ， 张 伟 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 6 8 2 7 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 2 [ 摘 要 ] ( 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 9 9 M K B ] ( 1 1 ) A b s t r a c t : 直 插 封 装 （ S C 0 4 0 6 ） 滤 波 器 装 配 工 艺 复 杂 ， 引 脚 修 剪 长 度 和 装 配 过 孔 等 影 响 端 口 阻 抗 ， 导 致 产 品 一 致 性 差 ， 不 利 于 选 频 组 件 批 量 生 产 。 
 表 面 贴 装 封 装 （ S M D 0 7 0 5 B ） 滤 波 器 的 体 积 小 ， 装 配 工 艺 简 单 ， 但 存 在 阻 带 抑 制 不 佳 问 题 。 
 利 用 三 维 电 磁 软 件 对 选 频 组 件 的 核 心 声 表 面 波 （ S A W ） 滤 波 器 进 行 仿 真 ， 通 过 仿 真 结 果 和 实 物 对 比 ， 验 证 了 滤 波 器 封 装 对 阻 带 抑 制 的 影 响 。 
 提 出 对 S M D 0 7 0 5 B 封 装 滤 波 器 增 加 屏 蔽 罩 的 方 法 ， 实 现 了 P 波 段 窄 带 选 频 组 件 的 高 阻 带 抑 制 。 
 结 果 表 明 ， 选 频 组 件 阻 带 抑 制 大 于 4 0 d B c ， 带 内 波 纹 小 于 1 d B ， 幅 度 一 致 性 小 于 1 d B ， 可 批 量 生 产 。 
 基 于 陶 封 微 波 收 发 组 件 的 高 效 清 洗 工 艺 方 法 研 究 廖 雯 ， 黄 义 炼 ， 吉 垚 ， 文 鹏 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 7 3 2 7 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 3 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 7 . 4 9 M K B ] ( 7 ) A b s t r a c t : 陶 封 微 波 收 发 组 件 内 部 裸 芯 片 较 多 ， 为 高 效 清 理 其 调 试 后 的 内 部 异 物 残 留 ， 提 升 该 类 产 品 生 产 质 量 及 效 率 ， 介 绍 了 一 种 通 过 等 离 子 清 洗 活 化 芯 片 表 面 后 再 进 行 二 流 体 清 洗 的 组 合 式 清 洗 工 艺 。 
 经 理 论 分 析 及 实 验 测 试 ， 结 果 表 明 ， 相 较 于 传 统 的 人 工 清 理 方 法 ， 该 工 艺 可 高 效 去 除 产 品 内 部 的 异 物 而 不 产 生 负 面 影 响 ， 清 洗 效 率 提 升 了 2 2 倍 ， 清 洗 后 的 产 品 满 足 微 电 子 器 件 实 验 方 法 与 程 序 （ G J B 5 4 8 C 2 0 2 1 ） 的 各 项 工 艺 要 求 ， 为 复 杂 内 腔 环 境 的 微 波 收 发 组 件 提 供 了 一 种 有 效 的 残 留 异 物 清 理 方 案 。 
 基 于 W i F i 频 段 的 宽 带 电 磁 能 量 收 集 超 表 面 江 志 豪 ， 林 飞 宏 ， 陈 家 伟 ， 徐 霆 锋 ， 严 仲 明 ， 王 豫 ， 周 洪 澄 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 7 7 2 8 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 4 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 1 2 M K B ] ( 6 ) A b s t r a c t : 提 出 了 一 种 用 于 W i F i 频 段 电 磁 能 量 收 集 的 宽 带 电 磁 整 流 超 表 面 。 
 超 表 面 单 元 尺 寸 为 3 4 m m × 3 4 m m × 5 m m 。 
 所 选 用 的 肖 特 基 二 极 管 不 仅 能 将 射 频 电 磁 能 量 整 流 成 直 流 能 量 ， 而 且 利 用 其 在 高 频 电 路 下 的 非 线 性 、 高 阻 抗 特 性 可 实 现 空 间 波 阻 抗 与 超 表 面 之 间 的 直 接 阻 抗 匹 配 ， 省 略 了 复 杂 的 匹 配 电 路 ， 增 加 了 其 工 作 带 宽 。 
 之 后 再 通 过 背 面 的 滤 波 电 路 将 直 流 电 磁 能 量 输 出 到 负 载 实 现 能 量 收 集 的 功 能 。 
 中 心 对 称 的 结 构 保 证 其 可 收 集 空 间 中 任 意 极 化 方 向 入 射 的 电 磁 波 ， 表 现 出 极 化 角 度 不 敏 感 的 特 性 ， 使 其 可 适 应 更 复 杂 的 环 境 ， 拓 宽 了 应 用 场 景 。 
 阶 梯 型 宽 带 微 带 天 线 的 设 计 仿 真 胡 万 山 ， 徐 艳 红 ， 崔 灿 ， 刘 子 雄 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 8 3 2 8 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 5 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 9 5 1 . 3 6 K K B ] ( 6 ) A b s t r a c t : 针 对 现 代 通 信 系 统 天 线 的 高 宽 带 、 高 定 向 性 需 求 ， 提 出 了 在 双 层 微 带 贴 片 上 开 阶 梯 型 槽 并 采 用 微 带 线 耦 合 馈 电 方 式 扩 展 带 宽 ， 研 究 了 不 同 等 分 阶 梯 数 对 天 线 带 宽 的 影 响 。 
 采 用 电 磁 仿 真 软 件 H F S S 对 天 线 参 数 进 行 仿 真 和 优 化 ， 最 终 确 定 上 层 贴 片 使 用 四 等 分 阶 梯 设 计 ， 下 层 贴 片 使 用 六 等 分 阶 梯 设 计 。 
 仿 真 结 果 表 明 ， 天 线 在 7 . 2 ~ 1 2 . 6 G H z （ 相 对 带 宽 5 4 % ） 范 围 内 的 S 1 1 ＜ 1 0 d B 。 
 应 用 于 W i F i 7 的 双 频 柔 性 M I M O 天 线 设 计 吴 旭 ， 王 庆 祥 ， 杜 成 珠 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 8 7 2 9 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 6 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 3 7 M K B ] ( 7 ) A b s t r a c t : 针 对 现 代 无 线 通 信 系 统 对 高 数 据 传 输 速 率 、 低 延 迟 等 需 求 的 增 长 ， 设 计 了 一 款 应 用 于 W i F i 7 的 共 面 波 导 馈 电 （ C P W ） 双 频 柔 性 M I M O 天 线 。 
 单 元 天 线 通 过 在 单 极 子 天 线 的 地 板 上 引 入 “ L ” 形 长 枝 节 的 方 式 来 实 现 双 频 特 性 ， 并 印 刷 在 L C P 柔 性 介 质 基 板 上 。 
 通 过 在 两 单 元 天 线 间 添 加 两 个 对 称 的 枝 节 ， 从 而 实 现 M I M O 天 线 的 高 隔 离 度 。 
 天 线 整 体 尺 寸 为 5 0 m m × 3 2 m m × 0 . 1 m m ， 实 测 工 作 频 段 为 2 . 3 8 ~ 2 . 6 G H z 和 4 . 6 8 ~ 9 . 8 3 G H z 。 
 工 作 频 段 内 天 线 的 隔 离 度 均 大 于 2 0 d B ， 包 络 相 关 系 数 （ E C C ） 小 于 0 . 0 0 2 ， 分 集 增 益 （ D G ） 大 于 9 . 9 9 9 d B 。 
 在 2 . 4 5 G H z 和 6 . 8 G H z 的 比 吸 收 率 （ S A R ） 值 分 别 为 1 . 0 1 W / k g 和 0 . 8 7 W / k g ， 均 小 于 国 际 标 准 。 
 研 究 结 果 表 明 ， 该 天 线 在 未 来 的 W i F i 7 领 域 具 有 良 好 的 应 用 前 景 。 
 收 发 一 体 平 面 圆 型 换 能 器 的 研 究 刘 婷 ， 夏 丽 莉 ， 王 宏 伟 ， 兰 宇 丹 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 2 9 4 3 0 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 7 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 1 4 M K B ] ( 6 ) A b s t r a c t : 采 用 圆 盘 换 能 器 嵌 圆 环 换 能 器 的 方 式 设 计 了 收 发 一 体 的 平 面 圆 型 换 能 器 ， 其 外 部 圆 环 换 能 器 发 射 信 号 ， 内 部 圆 盘 换 能 器 接 收 反 射 信 号 。 
 分 别 对 负 责 发 射 和 接 收 的 两 个 换 能 器 的 谐 振 频 率 进 行 理 论 分 析 ， 理 论 推 导 了 圆 盘 换 能 器 的 接 收 灵 敏 度 计 算 公 式 。 
 利 用 有 限 元 仿 真 软 件 确 定 内 部 圆 盘 水 听 器 （ 接 收 换 能 器 ） 的 厚 度 ， 并 调 整 其 半 径 以 改 变 面 积 比 ， 从 而 分 析 了 不 同 面 积 比 对 收 发 性 能 的 影 响 。 
 结 果 表 明 ， 当 面 积 比 为 0 . 2 时 ， 该 收 发 一 体 换 能 器 的 最 大 发 送 电 压 响 应 为 1 7 7 d B ， 接 收 灵 敏 度 为 1 6 6 d B 。 
 柔 性 7 n m B a T i O 3 铁 电 隧 穿 结 的 电 学 性 质 研 究 王 琦 ， 方 曾 远 ， 韦 春 树 ， 刘 兴 鹏 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 0 3 3 1 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 8 [ 摘 要 ] ( 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 . 8 6 M K B ] ( 9 ) A b s t r a c t : 铁 电 隧 穿 结 器 件 因 其 功 耗 低 、 响 应 快 及 数 据 读 写 稳 定 等 特 点 在 非 易 失 性 存 储 器 研 究 领 域 备 受 关 注 。 
 为 进 一 步 提 高 铁 电 存 储 器 性 能 ， 采 用 脉 冲 激 光 沉 积 技 术 ， 通 过 优 化 B a T i O 3 的 生 长 条 件 ， 在 柔 性 云 母 衬 底 上 制 备 出 了 7 n m 厚 度 的 B a T i O 3 铁 电 隧 穿 结 器 件 ， 并 对 其 电 学 性 质 进 行 研 究 。 
 研 究 发 现 柔 性 7 n m B a T i O 3 铁 电 隧 穿 结 表 现 出 明 显 的 阻 变 特 性 ， I ? V 测 试 结 果 表 现 出 典 型 的 滞 后 特 性 ， 不 同 电 压 状 态 下 ， I ? V 曲 线 突 出 明 显 的 开 关 特 性 ， 读 电 压 仅 为 0 . 5 V ； 在 R ? V 测 试 中 ， 以 1 0 m s 脉 宽 的 方 波 电 压 测 试 了 B a T i O 3 铁 电 隧 穿 结 的 电 阻 变 化 ， 其 表 现 出 良 好 的 电 阻 滞 后 特 性 ， 存 在 明 显 的 “ 存 储 窗 口 ” ； 在 保 持 特 性 测 试 中 ， 电 流 和 电 阻 在 3 0 0 s 内 均 维 持 在 稳 定 状 态 ， 体 现 了 良 好 的 保 持 特 性 。 
 采 用 不 同 导 电 机 制 模 型 对 漏 电 流 进 行 了 线 性 拟 合 ， 主 要 表 现 为 欧 姆 导 电 机 制 、 空 间 电 荷 限 制 和 肖 特 发 射 机 制 。 
 上 述 结 果 验 证 了 柔 性 B a T i O 3 忆 阻 器 的 可 行 性 ， 有 利 于 高 性 能 柔 性 铁 电 隧 穿 结 器 件 的 实 现 。 
 3 2 2 新 型 压 电 复 合 材 料 的 有 限 元 仿 真 黄 仁 海 ， 夏 丽 莉 ， 王 宏 伟 ， 杨 鹏 飞 ， 兰 宇 丹 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 1 2 3 1 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 1 9 [ 摘 要 ] ( 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 7 . 2 1 M K B ] ( 7 ) A b s t r a c t : 为 了 提 升 发 射 电 压 响 应 和 机 电 耦 合 系 数 以 提 高 压 电 性 能 ， 基 于 1 3 型 压 电 复 合 材 料 设 计 了 一 种 3 2 2 陶 瓷 空 气 聚 合 物 新 型 复 合 材 料 。 
 通 过 分 析 压 电 陶 瓷 阵 列 的 理 论 机 电 特 性 ， 结 合 有 限 元 仿 真 软 件 对 敏 感 元 件 进 行 建 模 和 物 理 场 计 算 ， 确 定 敏 感 元 件 的 发 射 电 压 响 应 和 谐 振 频 率 ， 并 对 比 不 同 尺 寸 对 应 的 频 率 差 异 以 确 定 聚 合 物 最 优 尺 寸 。 
 实 验 结 果 表 明 ， 相 对 于 传 统 1 3 型 压 电 复 合 材 料 ， 3 2 2 型 新 型 复 合 材 料 换 能 器 的 机 电 耦 合 系 数 提 高 了 0 . 0 2 ， 发 射 电 压 响 应 提 高 了 2 d B 。 
 因 此 ， 3 2 2 型 新 型 复 合 材 料 有 望 开 发 出 高 性 能 压 电 换 能 器 。 
 压 电 式 M E M S 水 听 器 振 膜 结 构 的 幅 频 特 性 检 测 研 究 宋 辰 阳 ， 李 建 友 ， 李 冠 华 ， 李 根 梓 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 1 9 3 2 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 0 [ 摘 要 ] ( 1 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 7 9 M K B ] ( 8 ) A b s t r a c t : 介 绍 了 一 种 使 用 反 射 式 数 字 全 息 显 微 镜 检 测 压 电 式 M E M S 水 听 器 中 振 膜 结 构 幅 频 特 性 的 方 法 。 
 首 先 采 用 光 学 方 法 测 量 得 到 水 听 器 上 振 膜 结 构 的 静 态 形 貌 ， 再 利 用 压 电 材 料 的 逆 压 电 效 应 对 压 电 薄 膜 施 以 一 定 区 间 频 率 的 电 激 励 ， 经 数 字 全 息 显 微 镜 表 征 动 态 三 维 形 貌 ， 记 录 振 膜 在 不 同 频 率 下 的 动 态 响 应 情 况 ， 以 获 得 其 特 征 频 率 、 特 征 频 率 处 的 振 型 等 关 键 信 息 。 
 试 验 结 果 表 明 ， 该 方 法 能 较 好 地 表 征 振 膜 结 构 的 静 态 形 貌 、 特 征 频 率 、 振 型 等 特 性 ， 有 助 于 加 速 压 电 式 微 机 电 系 统 （ M E M S ） 水 听 器 的 迭 代 开 发 。 
 压 电 粘 滑 驱 动 的 回 退 抑 制 及 切 换 控 制 研 究 孟 令 伟 ， 皇 甫 乐 晓 ， 吕 阳 ， 王 顺 顺 ， 崔 玉 国 ， 杨 依 领 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 2 6 3 3 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 1 [ 摘 要 ] ( 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 . 6 2 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 针 对 压 电 粘 滑 驱 动 中 的 位 移 回 退 及 “ 粗 精 ” 切 换 扰 动 问 题 ， 首 先 利 用 拱 形 驱 动 单 元 、 柔 性 调 节 机 构 和 输 出 台 等 构 建 压 电 粘 滑 平 台 ， 建 立 包 含 电 路 、 机 械 与 摩 擦 特 性 的 系 统 动 力 学 模 型 ； 然 后 将 驱 动 单 元 分 为 驱 动 组 和 防 回 退 组 ， 利 用 定 子 配 合 法 实 现 粘 滑 位 移 的 回 退 抑 制 ， 同 时 采 用 开 关 自 锁 逻 辑 回 路 与 时 间 标 记 过 渡 函 数 ， 设 计 面 向 “ 粗 精 ” 定 位 的 平 滑 切 换 控 制 策 略 ， 提 高 粘 滑 运 动 模 式 切 换 的 稳 定 性 和 效 率 ； 最 后 搭 建 实 验 测 试 系 统 进 行 验 证 ， 结 果 表 明 ， 与 传 统 粘 滑 驱 动 相 比 ， 定 子 配 合 法 在 X 、 Y 方 向 上 的 位 移 回 退 率 从 2 2 . 8 % 、 2 2 . 7 % 降 至 0 . 6 % 、 1 . 1 % ， 位 移 回 退 得 到 明 显 抑 制 。 
 在 切 换 阈 值 为 2 0 0 μ m 时 ， 平 滑 切 换 控 制 策 略 也 能 快 速 准 确 地 实 现 “ 粗 精 ” 定 位 ， 实 验 结 果 验 证 了 回 退 抑 制 与 切 换 控 制 方 法 的 有 效 性 。 
 谐 振 型 大 流 量 阀 式 压 电 气 泵 的 设 计 与 实 验 朱 笑 ， 许 峥 嵘 ， 李 锦 棒 ， 崔 玉 国 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 3 3 3 4 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 2 [ 摘 要 ] ( 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 3 5 M K B ] ( 1 0 ) A b s t r a c t : 针 对 阀 式 压 电 气 泵 工 作 频 率 低 、 流 量 小 的 问 题 ， 设 计 了 一 款 由 压 电 振 子 直 驱 的 谐 振 型 气 泵 。 
 首 先 设 计 了 压 电 谐 振 气 泵 的 构 型 ， 并 对 其 结 构 进 行 仿 真 分 析 ， 得 到 结 构 参 数 对 气 泵 输 出 特 性 的 影 响 。 
 初 步 制 作 了 压 电 谐 振 气 泵 的 样 机 ， 并 搭 建 实 验 测 试 装 置 ， 研 究 不 同 结 构 参 数 下 压 电 振 子 的 振 动 特 性 ， 以 及 气 泵 流 量 、 压 力 的 变 化 规 律 。 
 基 于 仿 真 与 实 验 的 结 果 ， 确 定 了 四 臂 阀 片 与 压 电 振 子 谐 振 频 率 的 匹 配 关 系 ， 当 阀 片 的 基 频 与 振 子 一 阶 谐 振 频 率 接 近 且 略 高 2 2 5 H z 时 ， 两 者 的 匹 配 性 最 好 。 
 优 化 后 ， 当 驱 动 电 压 峰 峰 值 为 1 2 0 V 、 驱 动 频 率 为 1 6 0 0 H z 时 ， 所 研 制 谐 振 型 阀 式 压 电 气 泵 的 输 出 流 量 为 1 2 4 1 . 2 8 m L / m i n ， 输 出 压 力 为 7 . 5 6 k P a 。 
 基 于 腔 体 S O I 的 C M U T 工 艺 方 法 及 性 能 研 究 曾 祥 铖 ， 陈 佳 琪 ， 孙 佳 丽 ， 王 任 鑫 ， 贾 利 成 ， 杨 玉 华 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 4 3 3 5 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 3 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 5 . 6 3 M K B ] ( 7 ) A b s t r a c t : 针 对 目 前 水 下 超 声 检 测 对 超 声 探 头 结 构 尺 寸 、 灵 敏 度 及 可 靠 性 等 方 面 的 更 高 要 求 ， 提 出 了 一 种 基 于 腔 体 绝 缘 体 上 硅 工 艺 设 计 并 制 备 微 小 电 容 式 微 机 械 超 声 换 能 器 （ C M U T ） 的 方 法 ， 并 通 过 封 装 完 成 了 C M U T 电 学 性 能 测 试 以 及 水 下 性 能 表 征 。 
 测 试 结 果 表 明 ， 此 方 法 制 备 的 C M U T 具 有 更 高 的 良 品 率 与 一 致 性 ， 且 其 发 送 电 压 响 应 级 为 1 6 9 . 0 3 d B 、 接 收 灵 敏 度 为 ? 2 1 1 . 3 1 d B 、 相 对 带 宽 为 1 2 1 % ， 表 现 出 优 异 的 灵 敏 度 特 性 与 指 向 性 （ ? 6 d B 波 束 宽 度 为 8 ° ） 。 
 这 种 新 型 的 C M U T 制 备 方 法 为 未 来 C M U T 高 密 度 集 成 及 水 下 超 声 检 测 提 供 了 理 论 支 持 与 依 据 。 
 可 重 复 使 用 的 超 敏 快 速 有 机 磷 压 电 传 感 技 术 翁 嘉 楠 ， 吴 伟 ， 朱 波 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 5 2 3 6 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 4 [ 摘 要 ] ( 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 6 . 6 9 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 有 机 磷 化 合 物 的 过 度 使 用 引 发 严 重 的 环 境 污 染 问 题 。 
 研 究 表 明 ， 即 使 环 境 中 的 残 留 浓 度 远 低 于 现 行 安 全 阈 值 ， 但 这 类 化 合 物 仍 可 引 发 各 种 神 经 系 统 疾 病 ， 对 人 类 健 康 构 成 长 期 威 胁 ， 而 研 发 高 灵 敏 度 、 高 选 择 性 以 及 能 快 速 响 应 的 化 学 传 感 器 势 在 必 行 。 
 该 文 通 过 分 子 设 计 提 高 材 料 对 分 析 物 的 传 感 选 择 性 ； 通 过 电 化 学 原 位 聚 合 获 得 高 比 表 面 积 的 材 料 界 面 ， 提 高 传 感 灵 敏 度 ； 通 过 动 力 学 拟 合 计 算 优 化 传 感 条 件 ， 提 高 传 感 响 应 速 率 并 赋 予 其 重 复 使 用 特 性 。 
 最 终 在 石 英 晶 体 微 天 平 上 实 现 了 满 足 1 0 9 级 别 的 检 测 限 和 强 抗 干 扰 能 力 的 有 机 磷 质 量 传 感 ， 可 同 时 兼 顾 秒 级 的 响 应 速 度 和 可 重 复 使 用 性 。 
 基 于 克 里 金 模 型 的 压 电 位 移 放 大 机 构 优 化 设 计 朱 元 珅 ， 石 明 辉 ， 陈 江 义 ， 沈 鹏 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 6 3 3 6 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 5 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 4 5 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 设 计 了 一 种 以 叠 层 型 压 电 陶 瓷 驱 动 、 基 于 三 角 形 放 大 原 理 的 压 电 位 移 放 大 机 构 ， 并 采 用 有 限 元 方 法 对 其 静 、 动 态 性 能 进 行 仿 真 分 析 。 
 为 优 化 机 构 性 能 ， 以 位 移 放 大 比 和 结 构 刚 度 最 大 化 为 目 标 ， 考 虑 尺 寸 参 数 对 性 能 的 影 响 ， 利 用 最 优 拉 丁 超 立 方 生 成 设 计 空 间 样 本 点 并 进 行 有 限 元 计 算 。 
 基 于 计 算 结 果 和 克 里 金 算 法 建 立 优 化 目 标 的 代 理 模 型 ， 使 用 非 支 配 排 序 遗 传 算 法 获 得 最 优 解 集 。 
 优 化 结 果 表 明 ， 位 移 放 大 比 较 初 步 设 计 时 提 升 了 1 7 . 4 % ， 刚 度 提 升 了 5 . 3 % 。 
 根 据 优 化 尺 寸 加 工 了 实 验 样 机 并 进 行 测 试 ， 测 得 所 设 计 放 大 机 构 的 位 移 放 大 比 为 8 . 4 9 ， 与 仿 真 值 相 近 。 
 基 于 测 距 信 息 的 行 人 惯 性 定 位 方 法 刘 宇 ， 刘 小 玮 ， 陈 燕 苹 ， 黄 江 峰 ， 邹 梦 强 ， 彭 慧 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 6 8 3 7 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 6 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 1 . 8 6 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 行 人 惯 性 导 航 系 统 在 解 算 过 程 中 随 时 间 产 生 累 积 误 差 ， 使 定 位 结 果 发 散 ， 而 使 用 传 统 的 广 义 似 然 比 检 测 （ G L R T ） 的 零 速 修 正 算 法 不 能 抑 制 定 位 误 差 的 发 散 ， 因 此 提 出 了 以 低 成 本 、 高 精 度 检 测 为 目 标 ， 设 计 一 种 基 于 对 地 的 超 声 波 测 距 传 感 器 辅 助 G L R T 零 速 修 正 的 方 法 （ 简 称 ： U A G L R T ） 。 
 以 标 准 篮 球 场 为 实 验 场 地 ， 利 用 5 次 独 立 重 复 性 实 验 ， 将 所 设 计 的 U A G L R T 算 法 与 G L R T 算 法 的 有 效 性 进 行 对 比 ， 且 通 过 位 置 误 差 和 闭 环 误 差 对 两 种 零 速 检 测 算 法 进 行 评 估 。 
 实 验 结 果 表 明 ， U A G L R T 算 法 相 比 于 G L R T 算 法 ， 其 终 点 与 起 点 之 间 的 位 置 误 差 平 均 值 由 1 . 0 2 m 降 至 0 . 4 3 m ， 闭 环 误 差 平 均 值 由 1 . 1 9 % D 降 至 0 . 5 % D 。 
 全 光 谱 傅 里 叶 变 换 光 声 光 谱 的 气 体 检 测 研 究 崔 佳 佳 ， 袁 宇 鹏 ， 李 尚 志 ， 刘 小 利 ， 邸 劲 ， 王 耀 鑫 ， 崔 茹 悦 ， 薛 积 禹 ， 董 磊 ， 武 红 鹏 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 7 6 3 8 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 7 [ 摘 要 ] ( 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 6 9 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 提 出 了 一 种 基 于 差 分 共 振 光 声 池 的 傅 里 叶 变 换 光 声 光 谱 技 术 ， 并 系 统 地 评 估 了 其 在 宽 带 检 测 和 多 气 体 同 步 检 测 方 面 的 性 能 表 现 。 
 通 过 引 入 干 涉 仪 的 相 位 调 制 和 机 械 斩 波 器 的 强 度 调 制 ， 实 现 了 对 宽 带 光 源 的 统 一 调 制 ， 从 而 实 现 了 傅 里 叶 变 换 光 谱 与 谐 振 光 声 探 测 模 块 的 高 效 结 合 。 
 实 验 采 用 卤 钨 灯 热 光 源 与 碳 棒 热 光 源 对 甲 烷 、 乙 炔 等 单 组 分 气 体 及 其 多 组 分 混 合 气 体 进 行 检 测 ， 实 现 了 在 1 ~ 2 0 μ m 波 段 范 围 内 的 宽 带 响 应 。 
 结 果 表 明 ， 傅 里 叶 变 换 光 声 光 谱 技 术 融 合 了 傅 里 叶 变 换 光 谱 和 光 声 光 谱 的 优 势 ， 具 备 宽 光 谱 响 应 、 高 分 辨 率 、 并 行 复 用 、 无 背 景 干 扰 及 无 波 长 选 择 的 特 性 ， 可 支 持 气 体 宽 带 检 测 和 多 气 体 同 步 检 测 ， 展 现 出 全 光 谱 检 测 的 潜 力 ， 广 泛 适 用 于 从 可 见 光 到 红 外 甚 至 太 赫 兹 波 段 的 检 测 应 用 。 
 面 向 气 体 绝 缘 设 备 故 障 检 测 的 高 灵 敏 S O 2 光 声 气 体 传 感 器 周 阳 ， 李 尚 志 ， 袁 宇 鹏 ， 董 磊 ， 崔 茹 悦 ， 薛 积 禹 ， 申 晓 雯 ， 武 红 鹏 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 8 4 3 9 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 8 [ 摘 要 ] ( 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 0 5 M K B ] ( 4 ) A b s t r a c t : 针 对 气 体 绝 缘 开 关 设 备 （ G I S ） 中 二 氧 化 硫 （ S O 2 ） 浓 度 高 灵 敏 度 检 测 的 需 求 ， 设 计 并 构 建 了 一 种 基 于 L D 泵 浦 全 固 态 调 Q 激 光 器 的 紫 外 光 声 气 体 传 感 器 。 
 该 传 感 器 以 中 心 波 长 为 2 6 6 n m 、 发 射 功 率 高 达 3 6 . 9 3 m W 的 紫 外 激 光 器 为 光 声 信 号 激 励 光 源 ， 采 用 体 积 仅 0 . 3 9 m L 的 非 共 振 光 声 池 对 微 弱 光 声 信 号 进 行 放 大 增 强 ， 最 终 通 过 检 测 光 声 信 号 实 现 对 S O 2 浓 度 的 在 线 反 演 。 
 通 过 优 化 调 制 频 率 等 关 键 参 数 ， 传 感 器 在 室 温 和 常 压 条 件 的 S O 2 探 测 灵 敏 度 可 达 到 2 8 6 . 9 p p b （ 在 1 s 积 分 时 间 内 实 现 ） ， 且 实 验 结 果 表 明 ， 当 延 长 积 分 时 间 至 1 0 0 s 时 ， 最 低 检 测 限 低 至 9 . 1 p p b 。 
 该 光 声 探 测 传 感 器 具 有 高 灵 敏 度 、 良 好 选 择 性 和 长 期 稳 定 性 ， 能 够 为 G I S 设 备 潜 在 故 障 的 早 期 诊 断 提 供 高 效 、 可 靠 的 技 术 支 持 。 
 基 于 光 纤 光 栅 传 感 器 的 支 撑 结 构 热 力 解 耦 测 试 邵 一 诺 ， 孙 自 强 ， 王 朕 ， 芦 吉 云 ， 何 子 凡 ， 罗 滢 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 9 1 3 9 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 2 9 [ 摘 要 ] ( 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 2 . 3 6 M K B ] ( 5 ) A b s t r a c t : 针 对 支 撑 结 构 在 载 荷 作 用 下 产 生 轴 力 变 化 而 影 响 结 构 安 全 性 的 现 象 ， 提 出 了 应 用 光 纤 布 喇 格 光 栅 传 感 器 进 行 支 撑 结 构 状 态 监 测 方 法 。 
 通 过 载 荷 设 计 、 传 感 器 安 装 、 多 路 传 感 器 监 测 、 应 变 数 据 处 理 及 热 力 解 耦 与 修 正 ， 实 现 了 结 构 应 变 状 态 与 轴 力 的 实 时 监 测 。 
 试 验 结 果 说 明 ， 当 温 度 变 化 超 过 1 0 ℃ 时 ， 测 量 应 变 与 载 荷 变 化 吻 合 较 好 。 
 轴 力 计 算 结 果 与 人 工 测 量 方 法 的 误 差 低 于 8 % ， 验 证 了 应 变 修 正 方 法 的 正 确 性 。 
 该 方 法 可 满 足 气 温 动 态 变 化 环 境 下 支 撑 结 构 轴 力 监 测 的 需 求 ， 为 土 木 领 域 相 关 研 究 提 供 了 重 要 的 试 验 参 考 。 
 基 于 红 外 光 纤 的 雷 电 在 线 云 监 测 系 统 张 梁 ， 陈 福 彬 ， 张 浩 渝 ， 魏 俊 ， 赵 佳 琳 2 0 2 5 , 4 7 ( 2 ) : 3 9 8 4 0 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 2 . 0 3 0 [ 摘 要 ] ( 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 . 4 7 M K B ] ( 8 ) A b s t r a c t : 工 业 铁 塔 广 泛 应 用 于 电 力 高 压 输 电 线 、 通 信 天 线 等 领 域 ， 但 塔 身 高 度 和 结 构 特 点 易 使 其 成 为 雷 击 目 标 。 
 雷 击 现 象 具 有 突 发 性 和 强 破 坏 性 ， 其 危 害 与 雷 电 信 号 的 冲 击 特 性 相 关 ， 如 电 流 强 度 大 、 持 续 时 间 短 等 。 
 针 对 当 前 雷 电 监 测 现 状 ， 利 用 无 源 雷 电 流 传 感 器 采 集 雷 电 流 信 号 ， 设 计 了 一 种 新 型 红 外 光 纤 调 制 解 调 器 处 理 雷 电 信 号 ， 通 过 S / P D I F （ S o n y / P h i l i p s D i g i t a l I n t e r c o n n e c t F o r m a t ） 光 纤 稳 定 传 送 至 检 测 终 端 ， 实 现 在 复 杂 工 业 环 境 下 雷 电 信 号 的 检 测 处 理 。 
 应 用 5 G 技 术 将 测 量 数 据 传 输 到 云 服 务 器 进 行 分 析 ， 用 户 可 通 过 手 机 A p p 或 W e b 界 面 访 问 云 服 务 器 ， 实 现 雷 电 远 程 在 线 监 测 。 
 实 验 结 果 表 明 ， 工 业 铁 塔 发 生 雷 击 事 件 时 ， 该 监 测 系 统 能 够 准 确 记 录 雷 击 时 间 、 次 数 和 雷 电 流 强 度 。 
 这 为 广 泛 开 展 雷 电 活 动 监 测 工 作 提 供 了 一 种 稳 定 、 可 靠 的 技 术 手 段 。 
 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 “ 已 录 用 ” 栏 目 展 示 本 刊 经 同 行 评 议 确 定 正 式 录 用 的 文 章 ， 这 些 文 章 目 前 处 在 编 校 过 程 ， 尚 未 确 定 卷 期 及 页 码 ， 但 可 以 根 据 D O I 进 行 引 用 。 
 出 版 专 辑 更 多 + 虚 拟 专 刊 M o r e 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 压 电 超 声 换 能 器 阻 抗 特 性 分 析 与 匹 配 设 计 王 玉 江 2 , 王 志 斌 1 , 2 , 3 , 宋 雁 鹏 2 , 解 琨 阳 2 , 赵 同 林 2 2 0 1 6 , 3 8 ( 4 ) : 6 3 3 6 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 4 . 0 2 8 [ 摘 要 ： ] ( 2 9 0 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 8 M K B ] ( 5 9 5 0 ) A b s t r a c t : 压 电 超 声 换 能 器 在 不 同 的 工 作 频 率 下 具 有 不 同 的 输 入 阻 抗 ， 当 驱 动 信 号 源 输 出 阻 抗 与 换 能 器 输 入 阻 抗 失 配 时 会 产 生 能 量 损 耗 ， 导 致 无 法 满 足 换 能 器 的 功 率 要 求 ， 从 而 使 其 光 谱 衍 射 效 率 降 低 ， 影 响 光 谱 成 像 质 量 。 
 为 此 对 换 能 器 阻 抗 频 率 特 性 的 深 入 研 究 ， 设 计 了 一 种 新 型 宽 带 阻 抗 匹 配 网 络 。 
 通 过 A D S 仿 真 及 匹 配 电 路 的 测 试 ， 最 终 在 1 1 5 ～ 1 8 0 M H z 超 声 波 频 率 内 可 使 换 能 器 的 光 谱 衍 射 效 率 最 高 达 7 0 ％ 。 
 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 超 声 波 电 机 的 谐 振 特 性 分 析 吕 琼 莹 , 杨 艳 , 焦 海 坤 , 张 志 杰 2 0 1 2 , 3 4 ( 6 ) : 8 6 4 8 6 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 2 . 0 6 . 0 1 5 [ 摘 要 ： ] ( 3 3 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 0 M K B ] ( 5 5 4 9 ) A b s t r a c t : 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 对 超 声 波 电 机 压 电 振 子 谐 振 特 性 进 行 了 理 论 分 析 ， 建 立 了 超 声 波 电 机 压 电 振 子 的 实 体 模 型 ， 仿 真 计 算 出 了 压 电 振 子 的 谐 振 频 率 ， 确 定 超 声 波 电 动 机 的 最 佳 工 作 频 段 ， 提 出 了 电 机 与 驱 动 电 路 匹 配 方 法 。 
 试 验 结 果 表 明 ： 当 对 压 电 振 子 施 加 幅 值 为 1 0 0 V 的 激 励 电 压 后 ， 软 件 分 析 和 数 学 计 算 基 本 一 致 ， 可 见 仿 真 分 析 方 法 的 可 行 性 ， 为 研 究 超 声 波 电 机 谐 振 特 性 提 供 了 一 种 简 便 的 计 算 方 法 。 
 高 频 医 用 超 声 换 能 器 材 料 声 匹 配 特 性 研 究 刘 鹏 波 1 , 2 , 3 , 简 小 华 1 , 韩 志 乐 1 , 李 章 剑 1 , 崔 崤 峣 1 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 5 0 4 5 3 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 2 6 [ 摘 要 ： ] ( 2 1 6 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 7 M K B ] ( 5 3 0 8 ) A b s t r a c t : 医 学 超 声 成 像 的 图 像 质 量 很 大 程 度 取 决 于 超 声 换 能 器 的 特 性 。 
 在 换 能 器 研 制 过 程 中 ， 一 项 重 要 的 任 务 是 确 定 合 适 的 匹 配 层 材 料 及 参 数 。 
 为 了 满 足 高 频 超 声 换 能 器 研 制 的 需 要 ， 该 文 从 理 论 及 实 验 两 方 面 研 究 了 R T V 6 1 5 硅 橡 胶 掺 杂 不 同 比 例 的 氧 化 铝 粉 末 后 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 的 高 频 ( 2 0 M H z ) 声 学 特 性 参 数 ， 包 括 声 速 、 声 阻 抗 、 声 衰 减 系 数 等 。 
 结 果 表 明 ， R T V 6 1 5 硅 橡 胶 中 掺 杂 氧 化 铝 的 体 积 分 数 为 7 . 9 3 % 时 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 在  2 0 M H z  频 率 条 件 下 声 阻 抗 值 提 高 5 2 . 9 4 % ， 达 到 1 . 5 6 × 1 0   6  P a · s / m ， 具 有 最 佳 的 声 阻 抗 匹 配 特 性 。 
 因 此 ， 通 过 优 化 掺 杂 比 例 可 有 效 改 进 硅 橡 胶 材 料 的 高 频 声 学 性 能 。 
 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 仿 真 与 结 构 优 化 余 卿 ， 遆 金 铭 ， 樊 青 青 ， 李 俊 红 2 0 2 2 , 4 4 ( 3 ) : 4 0 3 4 0 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 2 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 6 3 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 5 0 5 2 ) A b s t r a c t : 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 ( P M U T ) 在 医 疗 阵 列 成 像 、 手 势 识 别 、 内 窥 成 像 、 指 纹 识 别 等 领 域 有 着 重 要 的 应 用 , 而 灵 敏 度 等 性 能 是 影 响 其 成 像 质 量 的 主 要 因 素 。 
 该 文 对 基 于 P M N P T 圆 形 压 电 复 合 振 动 膜 的 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 等 效 电 路 模 型 进 行 分 析 , 并 通 过 有 限 元 法 研 究 了 压 电 层 P M N P T 厚 度 对 P M U T 的 发 射 电 压 响 应 、 接 收 灵 敏 度 的 影 响 。 
 仿 真 结 果 表 明 , 当 压 电 层 厚 度 为 4 . 5 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 9 0 % ) 时 , 换 能 器 的 发 射 电 压 响 应 级 最 大 , 达 到 1 9 1 . 6 d B , 接 收 灵 敏 度 级 随 厚 度 的 增 加 基 本 呈 线 性 上 升 趋 势 ; 当 压 电 层 厚 度 为 5 . 1 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 1 0 2 % ) 时 , 回 路 增 益 ( 损 耗 ) 最 大 , 达 到 6 4 . 5 0 d B 。 
 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 设 计 与 制 备 吴 高 米 ， 马 晋 毅 ， 李 尚 志 ， 司 美 菊 ， 唐 小 龙 ， 蒋 世 义 ， 江 洪 敏 ， 张 祖 伟 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 8 5 2 8 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 1 [ 摘 要 ： ] ( 2 9 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 4 M K B ] ( 5 0 3 6 ) A b s t r a c t : 针 对 未 来 移 动 通 信 对 射 频 前 端 器 件 提 出 的 多 频 率 、 高 集 成 新 要 求 , 开 展 了 兼 具 声 表 面 波 ( S A W ) 谐 振 器 和 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( F B A R ) 技 术 特 点 的 新 型 横 向 激 励 兰 姆 波 谐 振 器 研 究 。 
 该 文 介 绍 了 基 于 c 轴 择 优 取 向 氮 化 铝 ( A l N ) 压 电 薄 膜 的 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( X B A R ) 的 结 构 设 计 、 参 数 优 化 和 制 备 方 法 , 并 进 行 了 工 艺 验 证 。 
 通 过 剥 离 和 刻 蚀 等 步 骤 制 备 了 谐 振 频 率 4 . 4 6 4 G H z 、 品 质 因 数 3 0 3 9 、 品 质 因 数 与 频 率 之 积 ( f × Q ) 达 到 1 . 5 6 × 1 0 1 3 G H z 、 面 积 小 于 0 . 1 2 m m 2 的 低 杂 波 X B A R 谐 振 器 , 并 仿 真 分 析 了 其 用 于 射 频 滤 波 器 的 可 行 性 。 
 该 研 究 为 进 一 步 研 制 多 频 率 、 高 集 成 的 小 型 化 X B A R 滤 波 器 组 件 提 供 了 有 效 的 设 计 技 术 和 工 艺 技 术 支 撑 。 
 基 于 X L i N b O 3 / S i O 2 / S i 低 温 漂 、 大 机 电 耦 合 S H S A W 谐 振 器 的 设 计 温 福 军 ， 王 园 园 ， 钱 莉 荣 ， 王 荔 田 ， 李 翠 平 ， 熊 阳 ， 田 亚 会 ， 李 红 浪 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 0 2 9 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 2 [ 摘 要 ： ] ( 2 1 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 9 M K B ] ( 5 0 2 0 ) A b s t r a c t : 铌 酸 锂 ( L N ) 单 晶 薄 膜 具 有 较 高 的 机 电 耦 合 系 数 ( k 2 e f f ＞ 3 0 % ) , 其 水 平 剪 切 ( S H ) 声 学 模 式 常 被 应 用 于 开 发 具 有 大 机 电 耦 合 系 数 的 薄 膜 声 学 谐 振 器 和 超 宽 带 滤 波 器 。 
 但 L N 的 频 率 温 度 系 数 较 大 ( T C F ＞ 5 0 × 1 0 6 / ℃ ) , 这 不 仅 会 降 低 滤 波 器 的 可 用 有 效 带 宽 , 同 时 也 会 限 制 器 件 的 功 率 处 理 能 力 。 
 采 用 3 D 周 期 有 限 元 模 型 对 基 于 X 切 L N / S i O 2 / S i 结 构 S H 声 表 面 波 ( S H S A W ) 谐 振 器 进 行 了 优 化 研 究 。 
 研 究 结 果 表 明 , 当 S H S A W 传 播 角 ψ = 1 0 ° ~ 2 0 ° 、 L N 和 S i O 2 膜 厚 分 别 为 h L N = 0 . 1 λ 和 h S i O 2 = 0 . 2 λ ( λ 为 叉 指 换 能 器 周 期 ) 、 铝 电 极 金 属 化 率 η = 0 . 4 、 电 极 相 对 厚 度 h A l / λ = 5 % ~ 1 0 % 时 , S H S A W 谐 振 器 的 k 2 e f f 约 为 3 0 % , 且 其 T C F ＜ 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 有 望 用 于 开 发 新 一 代 的 低 温 漂 、 超 宽 带 5 G S A W 滤 波 器 。 
 低 插 损 窄 带 T C S A W 滤 波 器 的 设 计 与 研 制 黄 亮 ， 周 亚 男 ， 王 志 超 ， 何 朝 峰 ， 朱 卫 俊 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 0 3 0 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 4 [ 摘 要 ： ] ( 2 0 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 6 M K B ] ( 4 9 6 2 ) A b s t r a c t : 为 了 减 小 窄 带 滤 波 器 的 插 入 损 耗 , 在 梯 形 拓 扑 的 基 础 上 引 入 并 联 电 容 , 提 出 了 一 种 并 联 电 容 型 梯 形 拓 扑 。 
 利 用 并 联 电 容 大 幅 度 改 变 反 谐 振 点 频 率 的 特 点 , 以 牺 牲 较 小 插 入 损 耗 的 代 价 来 缩 小 带 宽 。 
 通 过 谐 振 器 设 计 与 进 化 算 法 寻 优 , 成 功 研 制 出 一 款 基 于 S i O 2 / C u / 1 2 7 ° Y X L i N b O 3 结 构 的 低 插 损 窄 带 温 补 型 声 表 面 波 ( T C S A W ) 滤 波 器 。 
 实 验 结 果 表 明 , 滤 波 器 的 中 心 频 率 为 1 5 1 4 M H z , 相 对 带 宽 为 0 . 4 6 % , 带 内 插 入 损 耗 仅 1 . 4 5 d B , 过 渡 带 2 0 M H z 带 外 抑 制 滚 降 到 2 4 d B , 远 带 带 外 抑 制 大 于 3 0 d B , W i F i 频 段 抑 制 高 达 4 8 d B , 频 率 温 度 系 数 T C F 为 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 器 件 尺 寸 为 1 . 1 m m × 0 . 9 m m 。 
 一 种 横 向 耦 合 改 进 型 结 构 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 研 究 张 显 洪 ， 杨 卫 东 ， 肖 强 ， 蒋 道 军 ， 张 晟 ， 施 建 峰 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 6 3 0 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 5 [ 摘 要 ： ] ( 1 6 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 5 7 M K B ] ( 4 9 5 6 ) A b s t r a c t : 该 文 采 用 波 导 法 分 析 了 横 向 耦 合 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 速 度 变 化 模 式 , 并 用 多 物 理 场 C O M S O L 软 件 对 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 和 耦 合 距 离 的 变 化 建 模 进 行 计 算 , 并 分 析 频 响 特 性 。 
 采 用 石 英 晶 体 作 为 底 衬 , 设 计 了 频 率 为 8 9 8 . 1 4 4 M H z , 插 入 损 耗 约 为 6 d B 的 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 并 进 行 验 证 。 
 结 果 表 明 , 中 心 耦 合 条 开 腔 结 构 的 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 达 到 7 . 2 ‰ , 与 不 开 腔 结 构 5 . 2 ‰ 相 对 带 宽 相 比 , 提 升 了 2 ‰ 。 
 这 说 明 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 变 化 , 能 改 变 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 。 
 兰 姆 波 型 谐 振 器 的 制 备 与 测 试 邓 言 文 , 彭 斌 , 张 万 里 , 陈 鹏 , 王 睿 , 姜 建 英 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 0 1 4 0 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 1 3 [ 摘 要 ： ] ( 2 3 4 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 4 M K B ] ( 4 9 4 0 ) A b s t r a c t : 采 用 磁 控 溅 射 、 光 刻 、 腐 蚀 、 电 子 束 蒸 发 等 工 艺 ， 在 A l N 薄 膜 表 面 设 计 和 制 备 了 兰 姆 波 ( L a m b ) 型 谐 振 器 。 
 研 究 了 L a m b 谐 振 器 频 率 特 性 与 频 率 温 度 特 性 ， 并 与 传 统 的 瑞 利 波 ( R a y l e i g h ) 型 谐 振 器 进 行 对 比 。 
 测 试 结 果 表 明 ， R a y l e i g h 谐 振 器 的 谐 振 频 率 为 3 0 5 . 1 5 M H z ， 温 度 灵 敏 度 为 1 0 . 7 4 k H z / ℃ ； 而 L a m b 谐 振 器 有 7 个 谐 振 频 率 ， 分 别 为 2 9 4 . 6 3 0 M H z ， 3 9 8 . 1 2 5 M H z ， 4 3 5 . 6 2 5 M H z ， 4 8 2 M H z ， 5 3 1 . 6 2 5 M H z ， 5 7 0 M H z 和 6 1 3 . 6 2 5 M H z ， 其 温 度 灵 敏 度 分 别 为 1 0 . 6 3 k H z / ℃ ， 1 3 . 4 6 k H z / ℃ ， 1 6 . 0 9 k H z / ℃ ， 1 7 . 5 1 k H z / ℃ ， 1 8 . 9 5 k H z / ℃ ， 2 0 . 7 6 k H z / ℃ 和 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 
 结 果 表 明 ， 兰 姆 波 型 谐 振 器 高 阶 模 式 的 温 度 灵 敏 度 最 高 ， 达 到 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 
 声 表 面 波 滤 波 器 温 度 敏 感 性 仿 真 研 究 王 吉 芳 ， 郑 露 ， 陈 平 静 ， 潘 虹 芝 ， 杜 雪 松 ， 董 加 和 ， 陆 川 ， 陈 正 林 ， 吴 浩 东 ， 马 晋 毅 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 0 3 1 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 6 [ 摘 要 ： ] ( 2 2 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 4 9 3 7 ) A b s t r a c t : 针 对 不 同 温 度 场 情 况 下 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 声 表 面 波 ( S A W ) 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 精 确 计 算 问 题 , 首 先 将 温 度 场 以 热 应 力 、 热 应 变 的 方 式 耦 合 声 / 电 本 征 方 程 并 考 虑 封 装 模 型 的 电 磁 因 素 , 再 结 合 分 层 级 联 算 法 和 全 波 仿 真 技 术 , 计 算 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 S A W 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 , 实 现 不 同 温 度 作 用 下 S A W 滤 波 器 频 率 响 应 曲 线 、 频 率 温 度 系 数 ( T C F ) 值 、 损 耗 、 带 宽 及 带 外 抑 制 等 性 能 的 综 合 分 析 。 
 通 过 4 1 ° Y X L i N b O 3 / S i O 2 / S i _ p o l y / S i ( 1 1 1 ) 复 合 衬 底 S A W 滤 波 器 的 优 化 设 计 与 研 制 , 其 设 计 优 化 结 果 与 实 验 结 果 吻 合 较 好 , 验 证 了 该 方 法 的 有 效 性 和 可 行 性 。 
 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 杨 涛 ， 周 建 国 ， 艾 毅 智 ， 刘 保 见 ， 吴 畏 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 4 3 3 4 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 2 [ 摘 要 ： ] ( 1 1 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 8 5 . 1 4 K K B ] ( 4 9 3 2 ) A b s t r a c t : 介 绍 了 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 。 
 通 过 在 换 能 器 上 制 备 电 极 阵 列 , 设 计 独 立 的 阻 抗 匹 配 电 路 和 电 输 入 端 口 , 将 6 个 声 光 互 作 用 单 元 集 成 在 一 起 , 实 现 了 对 6 束 激 光 的 并 行 、 独 立 调 制 。 
 经 测 试 , 该 6 信 道 声 光 调 制 器 工 作 波 长 为 3 5 5 n m , 工 作 频 率 为 2 2 0 M H z , 单 信 道 衍 射 效 率 ＞ 7 5 % , 全 局 串 扰 ＜ 0 . 5 % 。 
 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 结 构 的 混 合 S A W / B A W 压 力 敏 感 元 件 特 性 研 究 武 庆 鹏 ， 王 地 懋 ， 曾 龙 ， 王 艳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 2 3 2 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 8 [ 摘 要 ： ] ( 1 4 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 6 0 M K B ] ( 4 9 2 2 ) A b s t r a c t : 利 用 有 限 元 方 法 分 析 了 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 不 同 结 构 混 合 S A W / B A W 器 件 的 声 学 特 性 , 包 括 层 状 薄 膜 结 构 、 Z n O 薄 膜 刻 蚀 结 构 和 填 充 结 构 。 
 结 果 表 明 , 当 h Z n O / λ = 0 . 3 、 h A l N / λ = 0 . 5 , 且 Z n O 被 完 全 刻 蚀 ( d / h Z n O = 1 ) 时 , 刻 蚀 结 构 混 合 S A W / B A W ( 准 西 沙 瓦 波 ) 的 机 电 耦 合 系 数 ( K 2 ) 取 得 最 大 值 6 . 5 4 % , 比 层 状 结 构 ( d / h Z n O = 0 ) 提 升 了 近 一 倍 。 
 刻 蚀 结 构 中 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 不 仅 提 高 了 准 西 沙 瓦 波 的 K 2 , 而 且 改 善 了 其 压 力 传 感 特 性 。 
 当 d / h Z n O = 1 时 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 结 构 准 西 沙 瓦 波 的 压 力 频 移 分 别 为 8 1 . 2 k H z / M P a 和 2 0 7 . 4 k H z / M P a , 比 刻 蚀 结 构 分 别 提 高 了 5 8 . 7 % 和 3 0 0 % ; 同 时 , D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 使 准 西 沙 瓦 波 的 频 率 压 力 系 数 ( P C F ) 达 到 最 大 值 2 9 7 × 1 0 6 / M P a , 比 d / h Z n O = 0 时 提 高 了 约 3 0 % 。 
 由 此 可 知 , 通 过 引 入 不 同 的 填 充 物 可 以 开 发 不 同 的 功 能 传 感 器 , 在 压 力 、 温 度 和 气 敏 等 传 感 领 域 将 具 有 极 大 的 应 用 前 景 。 
 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 备 技 术 研 究 徐 阳 ， 司 美 菊 ， 吴 高 米 ， 刘 文 怡 ， 巩 乐 乐 ， 甄 静 怡 ， 余 奇 ， 陈 金 琳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 6 2 9 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 3 [ 摘 要 ： ] ( 1 7 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 3 M K B ] ( 4 9 1 1 ) A b s t r a c t : 随 着 移 动 通 信 技 术 的 快 速 发 展 , 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 逐 渐 向 高 频 和 大 带 宽 方 向 发 展 。 
 该 文 研 究 了 P O I ( L i N b O 3 / S i O 2 / S i ) 基 片 上 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 作 工 艺 , 通 过 研 究 P O I 基 I D T 光 刻 、 背 腔 硅 刻 蚀 等 工 艺 , 确 定 了 I D T 层 曝 光 量 和 背 腔 刻 蚀 等 关 键 工 艺 参 数 。 
 研 制 出 的 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 , 其 谐 振 频 率 为 4 5 6 5 M H z , 反 谐 振 频 率 为 5 0 3 5 M H z , 机 电 耦 合 系 数 为 2 0 . 8 6 % 。 
 此 制 备 工 艺 对 研 究 高 频 、 大 带 宽 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 具 有 重 要 的 参 考 意 义 。 
 金 锡 键 合 在 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 晶 圆 级 封 装 中 的 研 究 金 中 ， 张 基 钦 ， 吕 峻 豪 ， 阮 文 彪 ， 刘 娅 ， 甑 静 怡 ， 孙 明 宝 ， 孙 彦 红 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 9 3 4 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 5 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 2 M K B ] ( 4 9 0 4 ) A b s t r a c t : 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 ( F B A R ) 作 为 一 种 无 源 、 体 积 小 和 耐 功 率 高 的 器 件 , 被 广 泛 应 用 于 射 频 信 号 处 理 中 。 
 晶 圆 级 气 密 封 装 作 为 小 型 化 封 装 的 代 表 , 在 各 种 高 可 靠 性 应 用 场 景 中 占 据 重 要 地 位 。 
 金 金 键 合 和 金 锡 键 合 被 广 泛 应 用 于 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 的 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 , 但 金 锡 键 合 在 工 艺 上 更 易 实 现 。 
 该 文 针 对 金 锡 键 合 在 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 的 应 用 进 行 了 研 究 , 在 保 证 键 合 强 度 的 情 况 下 制 作 了 3 G H z 滤 波 器 样 品 , 其 性 能 测 试 一 致 性 良 好 , 可 靠 性 达 到 要 求 。 
 四 方 相 锆 钛 酸 铅 陶 瓷 制 备 及 温 度 稳 定 性 研 究 杨 洋 ， 侯 育 冬 ， 杜 红 亮 ， 张 阿 梅 ， 侯 鸿 平 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 5 1 3 5 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 1 4 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 3 8 M K B ] ( 4 9 0 0 ) A b s t r a c t : 采 用 传 统 固 相 法 制 备 了 P b ( Z r 1 x T i x ) O 3 陶 瓷 , 通 过 调 节 锆 钛 摩 尔 比 将 其 定 位 于 四 方 区 域 以 改 善 温 度 稳 定 性 , 并 通 过 优 化 烧 结 温 度 改 善 电 学 性 能 。 
 实 验 结 果 表 明 , 当 x = 0 . 5 2 时 , 体 系 处 于 四 方 区 域 , 此 时 陶 瓷 的 温 度 稳 定 性 有 所 提 升 , 在 室 温 ~ 3 0 0 ℃ 时 , d 3 3 变 化 率 为 ± 1 4 . 7 % 。 
 在 1 2 5 0 ℃ 下 烧 结 的 P b ( Z r 0 . 4 8 T i 0 . 5 2 ) O 3 陶 瓷 具 有 最 佳 的 电 学 性 能 : 压 电 常 数 d 3 3 = 1 8 3 p C / N , 居 里 温 度 T C = 4 0 2 ℃ , 相 对 介 电 常 数 ε r = 1 2 0 9 。 
 石 英 湿 法 腐 蚀 及 谐 振 器 制 作 工 艺 研 究 龙 雪 松 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 8 3 3 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 9 [ 摘 要 ： ] ( 1 4 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 6 M K B ] ( 4 8 6 9 ) A b s t r a c t : 随 着 石 英 谐 振 器 向 小 型 化 、 高 频 化 发 展 , 其 尺 寸 越 来 越 小 , 因 此 , 低 成 本 的 谐 振 器 精 准 制 造 工 艺 尤 为 重 要 。 
 该 文 对 石 英 晶 片 进 行 腐 蚀 实 验 以 确 定 精 准 制 造 矩 形 谐 振 器 的 最 佳 工 艺 条 件 , 研 究 了 温 度 对 金 属 保 护 层 完 整 性 的 影 响 , 以 及 腐 蚀 时 间 对 石 英 表 面 粗 糙 度 的 影 响 。 
 腐 蚀 速 率 稳 定 且 适 中 , 有 利 于 谐 振 器 的 精 准 制 造 。 
 设 计 了 石 英 谐 振 器 工 艺 流 程 , 得 到 质 量 较 好 的 超 薄 矩 形 A T 切 高 频 石 英 谐 振 器 。 
 分 析 其 尺 寸 误 差 产 生 的 原 因 , 并 总 结 了 一 套 精 度 较 好 的 湿 法 腐 蚀 工 艺 , 有 望 采 用 低 成 本 手 段 使 矩 形 谐 振 器 的 厚 度 小 于 1 0 μ m 。 
 超 宽 带 单 陷 波 四 元 M I M O 天 线 的 设 计 张 玲 ， 杜 成 珠 ， 胡 鹏 ， 杨 福 慧 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 9 2 3 9 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 2 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 1 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 9 6 M K B ] ( 4 8 6 2 ) A b s t r a c t : 该 文 设 计 了 一 款 具 有 单 陷 波 特 性 的 高 隔 离 超 宽 带 ( U W B ) 四 单 元 多 输 入 多 输 出 ( M I M O ) 天 线 。 
 天 线 的 尺 寸 为 6 5 m m × 6 5 m m × 0 . 8 m m 。 
 4 个 槽 天 线 单 元 水 平 正 交 放 置 , 采 用 易 加 工 集 成 的 共 面 波 导 ( C P W ) 馈 电 , 引 入 缺 陷 地 及 十 字 隔 离 枝 节 去 耦 。 
 通 过 在 天 线 辐 射 贴 片 上 刻 蚀 一 个 U 形 槽 , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 处 产 生 陷 波 , 能 阻 止 W L A N ( 5 . 1 5 ~ 5 . 8 2 5 G H z ) 的 通 信 干 扰 。 
 经 实 测 , 该 天 线 的 工 作 频 段 为 2 . 4 6 ~ 1 0 . 6 G H z , 隔 离 度 ＜ 2 0 d B , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 产 生 覆 盖 W L A N 的 阻 带 , 包 络 相 关 系 数 ＜ 0 . 0 2 , 分 集 增 益 ＞ 9 . 9 9 8 , 实 测 性 能 良 好 。 
 该 天 线 能 够 广 泛 应 用 于 U W B M I M O 通 信 系 统 。 
 兰 姆 波 驱 动 微 流 体 温 度 分 布 研 究 顾 赫 ， 梁 威 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 5 3 2 1 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 7 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 7 M K B ] ( 4 8 6 1 ) A b s t r a c t : 该 文 应 用 压 电 陶 瓷 器 件 激 发 频 率 1 M H z 的 兰 姆 波 在 非 压 电 基 板 上 进 行 了 微 流 体 温 度 分 布 的 研 究 。 
 经 理 论 分 析 表 明 , 兰 姆 波 向 流 体 中 辐 射 纵 波 以 及 兰 姆 波 在 介 质 中 传 播 时 的 粘 性 摩 擦 损 失 产 生 了 声 热 效 应 。 
 采 用 红 外 摄 像 机 观 察 液 滴 从 兰 姆 波 激 发 直 至 达 到 稳 态 时 的 热 分 布 变 化 , 发 现 液 滴 在 兰 姆 波 入 射 一 侧 的 温 度 高 于 其 他 区 域 且 高 温 区 域 有 向 顶 部 扩 散 的 趋 势 。 
 观 察 不 同 液 体 黏 度 液 滴 的 声 热 现 象 , 发 现 油 滴 的 温 度 扩 散 更 均 匀 , 动 力 学 行 为 更 弱 。 
 采 用 有 限 元 分 析 声 流 和 声 热 效 应 , 发 现 液 滴 在 顶 部 区 域 声 流 速 最 大 , 在 声 流 作 用 下 , 液 滴 的 高 温 区 域 扩 散 至 顶 部 。 
 基 于 多 模 态 扩 频 理 论 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 李 治 宏 ， 张 佳 佳 ， 张 金 雨 ， 王 佳 ， 马 云 宾 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 6 2 3 6 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 6 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 6 M K B ] ( 4 8 5 9 ) A b s t r a c t : 以 同 时 提 升 多 模 态 采 集 和 增 加 带 宽 为 研 究 方 向 , 结 合 多 模 态 扩 频 理 论 , 建 立 了 一 套 多 模 态 宽 频 且 能 多 方 向 工 作 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 。 
 该 系 统 包 含 能 量 采 集 器 和 电 源 管 理 电 路 两 个 模 块 。 
 其 中 , 采 集 器 包 括 4 种 谐 振 频 率 , 组 成 了 较 宽 的 工 作 频 带 , 保 证 了 该 采 集 器 在 低 频 振 动 工 作 环 境 下 高 效 率 地 收 集 振 动 能 量 ; 电 源 管 理 电 路 将 采 集 到 的 交 流 电 转 换 为 稳 定 的 直 流 电 , 再 对 电 容 或 电 池 等 储 能 元 件 充 电 以 供 微 电 子 器 件 使 用 。 
 经 过 模 态 和 谐 响 应 分 析 后 , 搭 建 了 实 验 平 台 并 对 采 集 系 统 进 行 实 验 测 试 。 
 实 验 结 果 表 明 , 在 加 速 度 6 m / s 2 简 谐 力 激 励 下 , 工 作 频 带 为 1 6 . 1 ~ 2 7 . 8 H z , 输 出 电 压 最 高 可 达 3 5 . 7 5 V , 阻 抗 匹 配 后 最 优 阻 值 为 2 0 0 k Ω , 此 时 输 出 功 率 为 1 1 5 . 8 5 μ W 。 
 J G D 提 拉 单 晶 炉 晶 体 模 型 的 数 字 化 陈 川 贵 ， 丁 雨 憧 ， 龙 勇 ， 何 晔 ， 吴 昊 ， 岑 伟 ， 李 青 蔚 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 3 3 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 0 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 1 7 M K B ] ( 4 8 4 1 ) A b s t r a c t : 中 国 电 科 芯 片 研 究 院 生 产 的 J G D 提 拉 单 晶 炉 是 一 种 上 称 重 自 动 直 径 控 制 激 光 单 晶 炉 , 它 实 现 了 提 拉 法 晶 体 全 自 动 智 能 生 长 控 制 。 
 利 用 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 建 立 提 拉 法 晶 体 数 学 模 型 , 晶 体 生 长 全 程 以 数 学 模 型 为 标 准 , 以 晶 体 质 量 为 控 制 量 进 行 实 时 闭 环 反 馈 控 制 。 
 该 软 件 建 立 的 晶 体 数 学 模 型 有 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 和 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 两 种 形 式 。 
 在 设 计 放 肩 段 时 , 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 充 分 体 现 了 晶 体 籽 晶 段 与 放 肩 段 、 等 径 段 三 位 一 体 平 滑 过 渡 的 理 念 ; 而 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 在 曲 线 设 计 上 更 加 灵 活 多 样 , 晶 体 数 学 模 型 设 计 更 便 捷 。 
 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 晶 体 数 学 模 型 被 广 泛 用 于 多 种 晶 体 生 长 过 程 , 如 I n S b 、 Y A G 等 晶 体 。 
 晶 体 外 形 控 制 良 好 、 品 质 优 良 。 
 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 环 境 协 调 型 压 电 铁 电 陶 瓷 肖 定 全 , 万 征 2 0 1 6 , 2 1 ( 5 ) : 3 6 3 3 6 6 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 7 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 无 铅 压 电 陶 瓷 研 究 开 发 进 展 赁 敦 敏 , 肖 定 全 , 朱 建 国 , 余 萍 , 鄢 洪 建 2 0 1 2 , 2 5 ( 2 ) : 1 2 7 1 3 2 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 7 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 陶 瓷 微 位 移 器 驱 动 电 源 及 减 小 其 纹 波 的 方 法 冯 晓 光 赵 万 生 2 0 1 6 , 1 9 ( 1 ) : 3 5 3 8 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 1 9 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 泵 泵 腔 体 积 变 化 量 研 究 程 光 明 杨 志 刚 2 0 2 2 , 2 0 ( 6 ) : 3 8 9 3 9 2 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 陶 瓷 动 态 应 用 的 新 型 驱 动 电 源 研 究 尹 德 芹 , 颜 国 正 , 颜 德 田 , 林 良 明 2 0 2 4 , 2 2 ( 2 ) : 8 6 8 9 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 3 8 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 与 声 光 ® 2 0 2 5 版 权 所 有 渝 I C P 备 0 5 0 0 2 9 6 0 号 3 地 址 ： 重 庆 南 坪 花 园 路 1 4 号 , 邮 政 编 码 ： 4 0 0 0 6 0 电 话 ： 0 2 3 6 5 8 6 0 2 6 0 6 5 8 6 0 2 8 3 传 真 ： 0 2 3 6 2 8 0 3 4 2 5 E m a i l ： y d s g s i p a t @ 1 6 3 . c o m 技 术 支 持 ： 北 京 勤 云 科 技 发 展 有 限 公 司
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