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小型等离子清洗机

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 根 据 客 户 的 技 术 要 求 ， 提 供 了 可 以 满 足 老 师 所 有 技 术 参 数 要 求 的 P l u t o T 等 离 子 清 洗 机 / 表 面 处 理 机 ， 以 下 为 该 设 备 的 安 装 调 试 图 。 
 上 海 交 大 采 购 P L U T O M C 沉 积 镀 膜 设 备 2 0 2 0 年 1 2 月 ， 上 海 交 通 大 学 采 购 我 司 P L U T O M C 沉 积 镀 膜 设 备 。 
 该 设 备 采 用 1 3 . 5 6 M H z 射 频 ， 涂 覆 面 积 为 1 5 0 * 1 5 0 m m ， 具 备 良 好 的 稳 定 性 与 可 重 复 性 。 
 电 子 科 技 大 学 采 用 P l u t o M D 等 离 子 去 胶 机 进 行 晶 圆 去 胶 电 子 科 技 大 学 已 采 购 多 台 等 离 子 设 备 ， 包 括 P L U T O T 等 离 子 清 洗 机 ， P L U T O M D 等 离 子 去 胶 机 等 ， 用 户 反 馈 良 好 。 
 主 要 涉 及 的 应 用 有 ： 晶 圆 光 刻 胶 的 去 除 、 电 子 半 导 体 样 品 表 面 有 机 物 的 去 除 、 多 功 能 微 纳 结 构 宽 带 吸 收 器 的 表 面 处 理 等 等 。 
 新 闻 中 心 企 业 新 闻 | C O R P O R A T E N E W S 等 离 子 去 胶 机 的 低 温 特 性 可 适 用 于 热 敏 感 材 料 使 用 等 离 子 去 胶 机 的 核 心 原 理 是 利 用 高 频 电 磁 场 激 发 气 体 分 子 ， 形 成 由 离 子 、 电 子 和 活 性 自 由 基 组 成 的 等 离 子 体 。 
 这 种 等 离 子 体 具 有 双 重 作 用 ： 一 是 物 理 轰 击 ， 高 速 离 子 撞 击 胶 层 表 面 ， 使 . . . [ 查 看 详 情 ] 国 产 等 离 子 清 洗 机 可 有 效 去 除 芯 片 表 面 的 有 机 污 染 物 2 0 2 5 0 6 0 5 关 于 实 验 室 等 离 子 清 洗 机 的 那 些 事 ， 一 起 来 了 解 下 吧 2 0 2 5 0 5 1 5 等 离 子 处 理 机 的 使 用 与 维 护 指 南 2 0 2 5 0 5 0 7 等 离 子 清 洗 机 是 实 验 室 的 ‘ 全 能 清 洁 工 ’ 2 0 2 5 0 4 2 9 等 离 子 去 胶 机 采 用 了 一 种 非 接 触 式 脱 胶 技 术 2 0 2 5 0 4 0 3 技 术 文 章 | T e c h n i c a l a r t i c l e s 台 式 真 空 等 离 子 清 洗 机 ： 高 效 环 保 的 表 面 处 理 利 器 与 操 作 指 南 在 精 密 制 造 与 科 研 领 域 ， 表 面 处 理 工 艺 的 精 度 与 环 保 性 直 接 影 响 产 品 质 量 与 生 产 效 率 。 
 台 式 真 空 等 离 子 清 洗 机 凭 借 其 技 术 优 势 ， 成 为 众 多 行 业 不 可 少 的 工 具 。 
 本 文 将 从 设 备 优 势 与 使 用 要 点 两 方 面 展 开 ， 为 用 户 提 供 全 面 指 导 。 
 一 、 核 心 优 势 ： 多 维 度 突 破 传 统 清 洗 局 限 纳 米 级 清 洁 能 力 该 设 备 通 过 高 频 电 场 激 发 气 体 形 成 等 离 子 体 ， 其 活 性 粒 子 可 深 入 材 料 表 面 微 孔 与 凹 陷 区 域 ， 精 准 剥 离 分 子 级 污 染 物 ( 如 油 脂 、 氧 化 物 ) ， 清 洁 精 度 达 0 . 1 纳 米 。 
 相 较 于 传 统 超 声 波 清 洗 的 微 米 级 效 果 ， 等 离 子 清 洗 为 后 续 粘 接 、 涂 层 等 工 艺 提 供 了 洁 净 的 表 面 基 础 。 
 例 如 . . . [ 查 看 详 情 ] 等 离 子 清 洗 机 的 优 点 分 析 如 下 2 0 2 5 0 5 3 0 中 大 型 等 离 子 清 洗 机 的 清 洗 方 法 2 0 2 5 0 4 1 8 一 起 来 了 解 下 等 离 子 表 面 处 理 系 统 2 0 2 5 0 4 1 1 小 型 等 离 子 清 洗 机 的 优 势 与 应 用 全 景 解 析 2 0 2 5 0 3 3 1 等 离 子 体 表 面 处 理 仪 的 处 理 方 法 2 0 2 5 0 3 2 0 应 用 案 例 0 1 等 离 子 清 洗 等 离 子 清 洗 特 点 是 不 分 处 理 对 象 的 基 材 类 型 ， 均 可 进 行 处 理 ， 对 金 属 、 半 导 体 、 氧 化 物 和 大 多 数 高 分 子 材 料 等 都 能 很 好 地 进 行 超 清 洗 。 
 图 为 P L U T O T 等 离 子 清 洗 机 对 陶 瓷 基 板 上 银 氧 化 层 的 清 洗 实 例 。 
 0 2 等 离 子 去 胶 等 离 子 清 洗 机 可 用 于 晶 圆 或 者 电 路 板 表 面 的 光 刻 胶 去 除 ， 以 及 去 除 光 学 元 件 、 半 导 体 元 件 表 面 的 光 阻 材 料 等 。 
 图 为 P L U T O M D 等 离 子 去 胶 机 对 P C B 板 和 硅 片 的 去 胶 实 例 。 
 0 3 等 离 子 活 化 改 性 改 善 粘 合 力 用 于 光 学 元 件 、 生 物 医 学 、 封 装 领 域 等 ； 表 面 改 性 用 于 高 分 子 材 料 表 面 修 饰 、 P D M S 微 流 控 芯 片 键 合 、 玻 璃 等 ， 增 强 表 面 粘 附 性 、 浸 润 性 、 相 容 性 ； 图 为 P L U T O M 对 线 路 板 、 橡 胶 管 和 手 机 膜 的 表 面 改 性 实 例 。 
 0 4 等 离 子 刻 蚀 等 离 子 刻 蚀 是 干 法 刻 蚀 中 常 见 的 一 种 形 式 ， 其 原 理 是 暴 露 在 电 子 区 域 的 气 体 形 成 等 离 子 体 ， 电 离 气 体 原 子 通 过 电 场 加 速 时 ， 会 释 放 足 够 的 力 量 与 表 面 驱 逐 力 紧 紧 粘 合 材 料 或 蚀 刻 表 面 。 
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